二、第一层防护：气体泄漏监测，实现险情提前预警
气体监测是半导体安全的第一道防线，核心目标是在明火出现前捕捉微量泄漏，从源头规避燃爆风险，整套监测体系分为选型、点位布置、三级报警三大模块。
1. 多传感技术组合选型，适配全品类特气
| 2. 科学点位布置，消除监测盲区 | 3. 分级报警联动逻辑 |
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根据不同气体危险特性搭配相应传感技术，一套系统覆盖可燃、剧毒、有机挥发、绝缘气体四类介质： ● 红外传感：适配氢气、硅烷等自燃可燃气体，不受有机溶剂、光刻胶蒸汽毒化，使用寿命长，减少频繁更换传感器带来的产线停机； ● 电化学传感：精准检测磷烷、砷烷、氟化氢等剧毒工艺气体，满足车间职业健康管控； ● PID 光离子传感：捕捉光刻胶、清洗溶剂释放 VOC 有机蒸汽，管控车间有毒挥发物； ● SF6传感：针对高压配电室，监测 SF6 绝缘气体泄漏与缺氧风险。 | 依据气体密度差异化安装：氢气等轻质气体靠近天花板布置，氯气、氟化氢等重质气体贴近地面；所有特气柜、VMB 阀门箱、刻蚀 / 沉积机台供气支路、化学品仓库均设置监测点位，密闭柜体搭配外置采样管路，捕捉内部微小渗漏。 | 遵循行业规范设置两级浓度阈值，联动厂区设备自动处置： ● 一级微量预警：本地声光提示，自动开启局部事故排风； ● 二级高浓度报警：连锁切断对应工艺气体紧急切断阀，同步推送报警信息至厂务管控平台。 |
三、第二层防护：火焰探测系统，极速处置明火险情
硅烷、氢气燃烧几乎无可见光，普通可见光探测器完全失效，半导体场景必须采用多光谱复合火焰探测方案，作为气体预警失效后的兜底防护。
| 1. 多光谱识别技术，过滤洁净室各类干扰 | 2. 环境适配硬性要求 | 3. 重点覆盖区域 |
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| 采用多波段光谱滤波 + 智能识别算法，区分真实火焰与车间干扰源：过滤 LED 灯光、等离子电弧、高温炉反光、阳光反射，同时精准识别硅烷无碳火焰特征光谱，在毫秒级完成报警输出，杜绝漏报、误报。 | 设备外壳采用防腐材质，IP66 及以上防尘防水防护，耐受车间酸碱雾气；整机满足 IIC T6 高防爆标准，表面最高温度低于氢气、硅烷引燃临界值，可直接部署在 I 区特气工艺间。 | 硅烷配气站、PECVD 沉积设备周边、特种气体存储柜、化学品库房、面板产线高温工艺区，探测器安装保证无遮挡可视角度，形成重叠覆盖消除死角。 |
